[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202011628590.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114686815A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;钱海涛;刘萍;吕海超 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 肖丽 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体的顶部设置有开口；加热装置设置于坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部与第二加热部依次交错串联设置多个；第一加热部与坩埚本体的整体外周壁对应设置；第二加热部与坩埚本体的靠近开口的局部外周壁对应设置。后者包括前者。第一加热部对坩埚本体的整体外周壁进行加热，第二加热部对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，以确保坩埚本体的开口周壁处的温度高于坩埚本体其他部位的温度，而且一个供电系统即可对多个第一加热部及多个第二加热部同时供电加热，具有能够简化加热系统的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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