[发明专利]一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202011625918.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112853289A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 金宇;陈溢祺;朱忆雪;张秀霞;朱东风;朱运平;金长利 | 申请（专利权）人： | 苏州闻道电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 涂琪顺 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于环境功能材料和水污染控制技术领域。本发明在Al中掺Si，一定程度上可减小Al的应力，Si可以穿透Al的晶格，抑制Al的结晶，并且原子半径较小的Si占据Al膜中的空位而产生拉伸作用，这种拉伸作用随着Si掺杂质量分数的增大逐渐占据对薄膜应力的主导作用，从而使Al从压应力转变为张应力，进而提高了极紫外波段薄膜的机械性能，同时不影响透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 波段 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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