[发明专利]一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备有效
| 申请号： | 202011625123.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112845293B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张九勤;邓信甫;刘大威;陈丁堃 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/10;B08B13/00;B05B15/60 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 刘富艳 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利申请涉及半导体加工技术领域，公开了一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，清洗槽用于容纳清洗液，清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，注流组件包括注流主管和注流支管，注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，清洗液由注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果，通过喷淋安装组件来调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，避免喷淋支管上某一点的应力集中从而避免喷淋支管的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 晶圆夹手 喷淋 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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