[发明专利]一种微悬臂梁的制备方法在审
| 申请号： | 202011622766.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112744782A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 高阳;李春勇;舒凯;仇伯仓;柯毛龙;徐化勇;冯欧 | 申请（专利权）人： | 江西铭德半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： |
本发明提供一种微悬臂梁的制备方法，包括：提供一衬底，并在衬底的上表面外延生长Al |
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| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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