[发明专利]一种新型的芯片加工用晶圆固定夹具在审
| 申请号： | 202011622694.4 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112782937A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 赵云;陈安汝;陈杰 | 申请（专利权）人： | 赵云 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 124000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及芯片加工技术领域，且公开了一种新型的芯片加工用晶圆固定夹具，包括安装座和固定吸盘，所述安装座顶部固定连接有固定吸盘，固定吸盘底部固定连接有抽吸管道，安装座内部开设有抽吸腔，抽吸腔内壁活动连接有推移板，推移板外侧固定连接有磁铁块，磁铁块外侧固定连接有复位弹簧，安装座内部固定连接有第一电磁铁，安装座外侧固定连接有固定侧板。该新型的芯片加工用晶圆固定夹具，弹性包覆层受到晶圆挤压后变形，将电流变液推压至填充腔内，将电介质推板向下推移，正极板和负极板的接通，从而控制外加电场的通电，使得电流变液从液态变为固态，将晶圆边缘进行固定，提高晶圆夹具的稳定性，同时不影响对晶圆表面的加工处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 芯片 工用 固定 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赵云，未经赵云许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011622694.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
