[发明专利]一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计在审
| 申请号： | 202011621727.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112834823A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 郭立强;董钱;王伟琳;丁建宁;程广贵 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01R27/14 | 分类号： | G01R27/14;H01L29/786 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电阻测量计技术领域，特指一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计。本发明以PVA固态电解质薄膜作为栅介质，运用原子力显微镜观察PVA栅介质表面形态，其表面平整连续，无细微裂痕，有利于获得良好的器件性能。在电路中被测电阻串联前后，通过调节栅电压，维持电路中的电流保持不变，则沟道前后阻值差的绝对值即为被测电阻的阻值。与传统的伏伏法测电阻的方法相比，由于栅电压可以连续的改变，从而使沟道的电阻可以连续变化，使用氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计测量大电阻时，可以提高被测阻值的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 薄膜晶体管 电阻 测量计 | ||
【主权项】：
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