[发明专利]可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法在审
| 申请号： | 202011614625.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112630984A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘捷;王克鸿;彭勇;邢飞;徐国建;唱丽丽 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学;南京中科煜宸激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B26/10 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 210094 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法，包括：激光源、准直透镜组、扩束透镜组、微透镜阵列，具有N*N阵列式排布的微透镜光学单元，用于对扩束后的光束进行匀化处理，形成均匀的光强分布输出，将光斑能量变为平顶分布；扫描振镜系统；以及场镜系统；其中，准直透镜组安装在可沿着光轴方向前后移动的移动平台上，通过移动平台的前后移动改变激光焦点位置的光斑大小；激光焦点处于扩束透镜组及微透镜阵列的入射焦点正中央位置。本发明的激光扫描装置与扫描方法，提供稳定且激光焦点位置光斑大小及形貌可调的光斑输出，激光光斑的能量分布从传统的高斯分布变为均匀的平顶分布，实现光强的均匀化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 激光 焦点 位置 光斑 大小 形貌 扫描 装置 方法 | ||
【主权项】：
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