[发明专利]一种单晶硅片制绒添加剂及其应用在审
| 申请号： | 202011596606.8 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112813501A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 喻桉;史华红;麦裕良;文武 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院化工研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 510665 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅片制绒添加剂及其应用，该制绒添加剂包括以下原料：非离子表面活性剂、酰胺类化合物、全氟类离子表面活性剂、糖类化合物、没食子酸、乙二醇丁醚和苯甲酸盐；该制绒添加剂能够很好地制备出尺寸均匀，大小范围在2μm～5μm之间的金字塔；同时，本发明通过利用表面活性剂之间的协同作用进行复配，摒除传统生产工艺上对异丙醇(IPA)的依赖，制备出无醇的制绒添加剂，大大地降低了工艺的生产成本和有毒异丙醇蒸汽挥发对人体的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 片制绒 添加剂 及其 应用 | ||
【主权项】：
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