[发明专利]一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构

摘要

本发明涉及一种CIGS共蒸法的卷对卷输送同步控制结构，解决CIGS共蒸法卷在高温、高腐蚀的非可视生产环境下，输送辊的异常会影响镀膜质量，且难以及时发现的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设置放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送基底卷材，所述放卷轴和收卷轴之间设有若干输送辊，每一个输送辊的端部均沿轴向突出设置有半轴，所述半轴环周的一段是与输送辊同轴线的半径为R的圆柱面，半轴环周的其他位置与轴线的距离小于R，所述半轴一侧设有顶针，所述顶针的尖端与输送辊轴线距离为R。本发明通过半轴、顶针的配合结构将输送辊的转动周期信号转化为方波输出，通过方波周期及相位的分析，可以获取转速数据，检测输送辊的同步性。