[发明专利]一种用于损伤前驱体原位测量的高精度二维位姿调整装置在审
申请号: | 202011568108.2 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112697979A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 石峰;邓明杰;薛帅;张万里;田野;宋辞 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 谭武艺 |
地址: | 410073 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于损伤前驱体原位测量的高精度二维位姿调整装置,包括底座和设于底座上的多个二维运动平台(1),所述二维运动平台(1)上设有可控磁场发生器(2),所述可控磁场发生器(2)上吸附有一个用于夹持被测光学元件的夹具(3)。本发明能够通过使光学元件每次重复测试时都保持在同一位置达到原位测试效果,结构小巧轻便,基本不会对光学元件的其它检测或处理过程造成影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 损伤 前驱 原位 测量 高精度 二维 调整 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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