[发明专利]一种浸液供给系统在审
| 申请号： | 202011563685.2 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112684669A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 赵艺文;吴敏;徐宁;付婧媛 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亚冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种浸液供给系统。本发明浸液原液被浸液纯化组件提升纯净度获得浸没液体，浸液流动参数调节组件对浸没液体的压力等流动参数进行调节；浸液供给系统一路浸液沿主注液供给流路向浸液供给回收装置的主注液口供给，另一路浸液沿底部注液供给流路向浸液供给回收装置的底部注液口供给；通过温度计和温度调节器对浸液温度进行调节或通过换热器与主注液供给流路和底部注液供给流路热耦合连接，使主注液供给流路和底部注液供给流路中浸液的温度趋近或相等，维持浸没流场的温度稳定，保证浸没流场的光学性质稳定，保证曝光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浸液 供给 系统 | ||
【主权项】：
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