[发明专利]一种浸液供给回收装置在审
| 申请号： | 202011561033.5 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112684665A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 吴敏;付婧媛;陈文昱 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亚冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种浸液供给回收装置。本发明包括内基体和外基体，内基体环绕于末端物镜的径向外侧，外基体环绕于内基体的径向外侧；内基体和外基体之间具有间隙或隔离物；外基体位于衬底上方，与衬底形成第三间隙；内基体向末端物镜与衬底之间的间隙提供浸液；外基体从第三间隙中抽取浸液。本发明改善浸液供给回收装置的振动特性，保证曝光质量。由于通常密封抽排口距离衬底最近，尺寸精度要求高，而且密封抽排口容易性能衰退，使用本发明的内基体和外基体相对隔离的方案，可以对内基体采用较低精度的加工工艺以降低浸液供给回收装置的制造成本，并且可以仅更换外基体以恢复浸液供给回收装置的性能，从而降低维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浸液 供给 回收 装置 | ||
【主权项】：
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