[发明专利]一种光刻胶颗粒度测试装置在审
| 申请号： | 202011554004.6 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112611691A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 顾大公;陈玲;马新龙;许东升;许鹏;陈阳;胡海斌;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于光刻胶测试技术领域，提供了一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 颗粒 测试 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波南大光电材料有限公司，未经宁波南大光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011554004.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
