[发明专利]静电去除装置、蒸镀装置及静电去除方法在审
| 申请号： | 202011545337.2 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112788824A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 段廷原;张铢仓;金如 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;C23C14/24;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刘泳麟 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种静电去除装置、蒸镀装置及静电去除方法，该静电去除装置包括：升降架，包括底板，及设置在底板上表面且相互间隔的多个基板分离件，多个基板分离件围合形成有多个间隔设置的悬空区域，多个悬空区域之间形成有间隔区域；电极组件，包括支撑在底板上表面且与底板的上表面相对的多个板状电极，多个板状电极与多个悬空区域一一对应设置，多个板状电极相互间隔设置，板状电极与悬空区域形状适配。本申请提供的静电去除装置，将电极的形状和位置与基板分离件围合形成的悬空区域对应设置，既不会损伤玻璃基板正面的有机材料，也能够对玻璃基板背面与间隔区域对应的非显示区进行活化和静电消除，降低玻璃基板与升降架分离时的破片率。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 去除 装置 方法 | ||
【主权项】：
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