[发明专利]一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备在审
| 申请号： | 202011543644.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112808699A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 金安年 | 申请（专利权）人： | 泗阳垠创运营管理有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B5/04;B01D46/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 陈科巧 |
| 地址： | 223700 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，包括支撑板，所述支撑板顶部的正面和背面均栓接有支撑架，所述支撑架的顶部栓接有加工箱，所述加工箱的内腔设置有防尘机构，所述加工箱内腔的顶部设置有配合防尘机构使用的吸尘机构。本发明通过第一气泵、软管、第二电机、主动齿轮、第一从动齿轮、第二从动齿轮、固定管、连接管、U型管和喷嘴的配合，便于使用者利用第二电机带动两组固定管进行同时旋转，从而通过旋转的喷嘴对加工箱的内腔进行全方位吹拂，进而使加工箱内的灰尘始终处于漂浮状态，通过第二气泵、通气管、分流管、扩散管、管道和吸头的配合，便于使用者利用第二气泵带动多个吸头对漂浮的灰尘进行快速吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防尘 效果 半导体器件 制造 加工 设备 | ||
【主权项】：
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