[发明专利]一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法在审
| 申请号： | 202011542569.2 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112763557A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 刘诗斌;檀杰;罗杰璋;陈颖豪 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710072 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法。其特点是将微米级的聚苯乙烯胶体球自组装形成的单层膜转移到光寻址电位传感器的硅衬底，以聚苯乙烯胶体单层膜为模板在衬底上沉积金属，进而通过二甲苯浸泡剥离胶体球模板。由于采用微米球光刻技术，在光寻址电位传感器半导体衬底的透光区域制备了周期性有序的蜂巢网状工作电极，有效降低了衬底中光生载流子的横向扩散，提高了LAPS的空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寻址 电位 传感器 蜂巢 网状 工作 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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