[发明专利]由二环己基甲酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法

摘要

本发明属于可降解型光刻胶树脂单体，公开了一种由二环己基甲酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法，树脂单体的结构式如下：其中R为烷基或杂烷基。其制备方法为，原料Ⅰ的羟基经保护，得到中间体Ⅱ；原料Ⅰ包括以下结构通式R为烷基或杂烷基；二环己基甲酮在中间体Ⅱ与金属形成的格氏试剂的条件下，经还原得到含有一个羟基的中间体Ⅲ；中间体Ⅲ经脱保护，得到含有两个羟基的中间体Ⅳ；中间体Ⅳ与丙烯酸类化合物经酯化反应，得到树脂单体Ⅴ。本发明的树脂单体包括叔丁基结构和环状多酯结构，能够改善边缘粗糙度，增加对比度，提高分辨率，具有优异的耐刻蚀性和脂溶性溶，且制备方法简单方便。