[发明专利]一种使用单一坩埚蒸镀厚铬金属层的方法有效
| 申请号： | 202011541707.5 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114657516B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;程昌辉;吴向龙;闫宝华;王成新 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/18 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 韩献龙 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用单一坩埚蒸镀厚铬金属层的方法；使用单一坩埚，通过电子束和坩埚位置的调整，实现了将每次蒸镀形成的翘曲层重新打散成颗粒，然后继续进行蒸镀，以此完成了金属Cr厚膜层的蒸镀。本发明方法克服了制备厚金属Cr层需要通过多坩埚蒸镀的弊端，通过调整蒸镀过程中金属源表面形态，以较简单的方法、较低的成本、使用单一坩埚即可有效实现厚金属Cr层的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 单一 坩埚 蒸镀厚铬 金属 方法 | ||
【主权项】：
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