[发明专利]具有多隧道结的VCSEL激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011519982.7 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114520461B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 王立;李念宜;郭铭浩;林珊珊 | 申请（专利权）人： | 浙江睿熙科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/32;H01S5/34;H01S5/343 |
| 代理公司： | 宁波市道同知识产权代理有限公司 33478 | 代理人： | 谢华 |
| 地址： | 311113 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种具有多隧道结的VCSEL激光器及其制备方法。所述VCSEL激光器，包括：外延结构和电连接于所述外延结构的正电极和负电极；所述外延结构，包括：衬底；位于所述衬底上方的第一反射器和第二反射器，其中，所述第一反射器和所述第二反射器之间设有反射腔；形成于所述反射腔内的多个有源区和多个隧道结，所述多个有源区和所述多个隧道结在所述反射腔内交替设置；以及，形成于所述反射腔内的至少二限制层，所述至少二限制层分别具有开孔，其中，所述至少二限制层的所述开孔中至少部分开孔之间具有不同的孔径。这样，所述VCSEL激光器能够在具有较高光电转化效率的同时兼顾远场束散角的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隧道 vcsel 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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