[发明专利]一种悬浮LED器件的制造方法有效
| 申请号： | 202011515819.3 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112510127B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 梅洋;谢敏超;应磊莹;张保平 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/10;H01L33/22;H01L27/15;H01L33/00 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 何家富 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种悬浮LED器件及其制造方法，包括衬底、半导体外延层阵列、反射层及电极；半导体外延层阵列包括多个半导体外延层，衬底上设有凸起的支撑柱阵列，支撑柱阵列包括多个支撑柱；支撑柱及衬底都由导电材料制成；半导体外延层的第一面与支撑柱的上表面连接，支撑柱的上表面面积小于半导体外延层的第一面面积，反射层覆盖于衬底的上表面及支撑柱的侧面上；半导体外延层的第二面与电极连接。这种悬浮LED器件将发光二极管的半导体外延层通过支撑柱支撑起，形成了悬浮的结构，由于半导体外延层与支撑柱的接触面积较小，半导体外延层内应力得以释放，因此有源区内量子斯塔克效应能被有效抑制，器件发光效率能得到显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 led 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
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