[发明专利]一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台有效
| 申请号： | 202011504359.4 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112240755B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 丁程 | 申请（专利权）人： | 适新科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人： | 王云峰 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台，其包括机箱底座、外设机壳、左装夹件、右装夹件、平行光照射组件以及光感装置，所述机箱底座的上端面右侧垂直固定有右装夹件，所述机箱底座的上端面左侧垂直固定有左装夹件，所述左装夹件将高精度高表面底板左侧沿竖直方向进行上下调节；所述右装夹件将高精度高表面底板右侧沿水平方向进行左右调节，所述暂存腔室内部下侧安装有平行光照射组件，所述平行光照射组件提供多数汇焦平行光线，并倾斜直射于高精度高表面底板的表面；所述机箱底座内靠近所述右装夹件的一侧竖直安装有光感装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高精度 表面 底板 接触 检测 | ||
【主权项】：
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