[发明专利]一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台有效
申请号: | 202011504359.4 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112240755B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 丁程 | 申请(专利权)人: | 适新科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人: | 王云峰 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高精度 表面 底板 接触 检测 | ||
1.一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台,其包括机箱底座(1)、外设机壳(101)、左装夹件(2)、右装夹件(3)、平行光照射组件(5)以及光感装置(4),其中,所述机箱底座(1)的内部中侧设有用于容纳高精度高表面底板的暂存腔室,所述机箱底座(1)的上端面安装有外设机壳(101),其特征在于:所述机箱底座(1)的上端面右侧垂直固定有右装夹件(3),所述右装夹件(3)对高精度高表面底板的右端边沿位置进行定位装夹;
所述机箱底座(1)的上端面左侧垂直固定有左装夹件(2),所述左装夹件(2)对高精度高表面底板的左端边沿位置进行定位装夹,且所述左装夹件(2)与所述右装夹件(3)分别独立运作,并相互配合对高精度高表面底板两侧进行限位固定,所述左装夹件(2)将高精度高表面底板左侧沿竖直方向进行上下调节;所述右装夹件(3)将高精度高表面底板右侧沿水平方向进行左右调节,使得高精度高表面底板在暂存腔室内呈现空间旋转调节状态;
所述暂存腔室内部下侧安装有平行光照射组件(5),所述平行光照射组件(5)提供多束汇焦平行光线,并倾斜直射于高精度高表面底板的表面;
所述机箱底座(1)内靠近所述右装夹件的一侧竖直安装有光感装置(4),所述光感装置(4)对高精度高表面底板表面反射的局部光线进行测量感应,并将感应数据及时输送至外设数据处理装置进行处理;
所述光感装置(4)包括机体(401)、固定载板(402)、光源接收头(403)、支撑件(404)以及可调伸缩杆(405),其中,所述机体(401)内竖直安装有固定载板(402),所述固定载板(402)上均匀排设有多个光源接收头(403),各所述光源接收头(403)对外射光线定点接收;
所述固定载板(402)远离所述光源接收头(403)的一侧通过支撑件(404)与所述机体(401)转动连接;所述固定载板(402)同侧上下对称设置有可调伸缩杆(405),所述可调伸缩杆(405)的一端与机体(401)连接固定,并通过其伸缩作用对固定载板(402)的垂直面接收夹角进行调节。
2.根据权利要求1所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台,其特征在于:所述左装夹件(2)包括主支撑件(201)、连接件(202)、滑动导轨(203)、传动链板(204)、驱动轮座(205)、主安装座一(206)以及夹持装置一(6),其中,所述机箱底座(1)的上端面竖直固定有主支撑件(201),所述主支撑件(201)上通过横向设置的连接件(202)与所述滑动导轨(203)相固定,所述滑动导轨(203)的一端竖直伸入所述机箱底座(1)的暂存腔室内;
所述滑动导轨(203)上相对上下滑动的设置有驱动轮座(205),所述驱动轮座(205)通过设置在其内部的多个驱动轮齿与所述滑动导轨(203)啮合传动,所述滑动导轨(203)上还平行设置有传动链板(204),所述传动链板(204)的一端与所述驱动轮座(205)连接固定,并辅助所述驱动轮座(205)进行限位滑移;
所述驱动轮座(205)远离所述主支撑件(201)的一端固定有主安装座一(206),所述主安装座一(206)内相对转动的设置有转轴件一(207),所述转轴件一(207)上固定有夹持装置一(6),并由所述夹持装置一(6)对高精度高表面底板的侧面边沿进行局部夹护。
3.根据权利要求2所述的一种用于高精度高表面底板的非接触检测载台,其特征在于:所述右装夹件(3)包括连接支柱(301)、外固定架(302)、中心螺杆(303)、旋转电机(304)、主安装座二(305)以及夹持装置二(7),其中,所述机箱底座(1)的上端面右侧水平固定有外固定架(302),所述外固定架(302)内两侧均采用轴承相对转动的设置有中心螺杆(303),所述外固定架(302)上相对左右滑动的竖直设置有连接支柱(301),所述连接支柱(301)的下端通过螺纹啮合作用与所述中心螺杆(303)啮合传动,所述机箱底座(1)的上端面安装有旋转电机(304),所述旋转电机(304)的输出端与所述中心螺杆(303)连接固定,并驱动所述中心螺杆(303)作定向圆周旋转运动;
所述连接支柱(301)的上端固定有主安装座二(305),所述主安装座二(305)内通过转轴件二(306)相对转动的设置有夹持装置二(7)。
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