[发明专利]一种多模式光学在线测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202011497868.9 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112710251B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张宇 | 申请（专利权）人： | 东北电力大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 吉林市达利专利事务所 22102 | 代理人： | 陈传林 |
| 地址： | 132012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明一种多模式光学在线测量装置及测量方法，属于光学测量技术领域，设计了一种多模式光学在线测量装置，在干涉测量技术的基础上引入差动共焦显微技术，满足不同动态范围光学曲面宏观面形以及表面粗糙度的在线测量；并提出了一种多模光学在线测量方法，实现了不同动态范围光学曲面宏观面形及其表面粗糙度在同一台装置中的在线测量，LED干涉显微测量、单波长激光干涉测量、双波长激光干涉测量及差动共焦显微测量四种工作模式的融合，形成了适合不同动态范围光学曲面宏观面形及表面粗糙度的光学测量技术，为光学在线测量提供了一种新的有利工具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模式 光学 在线 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东北电力大学，未经东北电力大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011497868.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：智能机器人底盘结构
- 下一篇：亮度调节方法、装置、存储介质及终端
