[发明专利]一种膜厚测量系统及方法有效
| 申请号： | 202011480604.2 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112697081B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;王江南;徐蒙蒙;梁舰;张川;张亮;史晓波;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜厚测量系统及方法。该系统包括至少一个测量晶振、至少一个校准晶振、至少一个校准挡板、膜厚检测模块及控制模块；校准晶振与校准挡板一一对应。该系统测量膜厚过程包括多个连续的工作周期，测量晶振在每个工作周期中连续测量，校准晶振在每个工作周期包括校准和停歇时段。当控制模块在校准时段的开始时刻控制校准挡板打开时，膜厚检测模块获取校准晶振及测量晶振各自的频率变化量，并根据校准晶振及测量晶振各自的频率变化量确定测量晶振的动态校准系数；控制模块还在校准时段的结束时刻控制校准挡板遮挡校准晶振；下一个工作周期内，膜厚检测模块根据动态校准系数计算测量晶振的沉积膜厚，如此延长了整个系统晶振的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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