[发明专利]一种叠层衍射成像装置及方法有效
| 申请号： | 202011470602.5 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112525935B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 史祎诗;张书源;张峻浩;苗栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大学 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/2055 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王爱涛 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种叠层衍射成像装置及方法。该装置包括：CCD相机、旋转台、探针和分辨率板；旋转台的中心开设有第一通孔，探针的中心开设有第二通孔，探针固定于旋转台的平面上，且探针的中心与旋转台的中心不重叠；分辨率板、旋转台和CCD相机依次间隔固定，光路依次经过分辨率板、探针和旋转台后到达CCD相机，分辨率板待测区域的中心、旋转台的中心和CCD相机中心均与光路同轴；旋转台在与光路垂直的方向可旋转；分辨率板、探针和CCD相机之间满足菲涅尔衍射条件。本发明可以提高叠层衍射成像的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
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