[发明专利]一种194nm谱线汞灯的制作装置和方法有效
| 申请号： | 202011465220.3 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112768326B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王暖让;陈星;赵环;薛潇博;张升康 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 毛唯鸣 |
| 地址： | 100854 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的一个实施例公开了一种194nm谱线汞灯的制作装置和方法，所述装置包括：充制平台、第一到第四管道、气瓶、针阀、汞同位素泡壳、射频激励模块、三维调整架、第一烤箱、泵、压力表和加热带；第一管道设在充制平台内部；气瓶充有工作气体；针阀安装在第一管道的第一端口；第二管道的第一端口与第一管道的第二端口连通；第三管道的第一端口与第二管道的第二端口连通；第四管道的第一端口与第三管道的第三端口连通；汞同位素泡壳安装在第四管道的第二端口；射频激励模块安装在三维调整架上；三维调整架放置在充制平台上；第一烤箱设在充制平台上；泵与第一管道的第三端口相连；压力表设置在第一管道的第四端口；加热带设于第一管道的外壁上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 194 nm 谱线汞灯 制作 装置 方法 | ||
【主权项】：
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