[发明专利]一种电致变色膜系中的钽酸锂薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202011462541.8 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112626474B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 沈洪雪;汤永康;李刚;姚婷婷;王天齐;金克武 | 申请（专利权）人： | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司;玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;G02F1/1523 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开一种电致变色膜系中的钽酸锂薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、取20Ω的ITO镀膜玻璃作为衬底；S2、将衬底装入样品架，送入磁控溅射镀膜腔室；以钽酸锂靶为靶材；S3、对磁控溅射镀膜腔室抽真空，当真空度达到10 |
||
| 搜索关键词： | 一种 变色 中的 钽酸锂 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中建材玻璃新材料研究院集团有限公司;玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司，未经中建材玻璃新材料研究院集团有限公司;玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011462541.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：滤纸全自动卷圆注胶掰断机构
- 下一篇：一种交通物流运输车的装载结构
- 同类专利
- 专利分类
