[发明专利]一种基于近似周期工艺过程的加工稳定性评估方法

摘要

本发明公开了一种基于近似周期工艺过程的加工稳定性评估方法及系统，通过对近似工艺过程按照特征点划分近似周期，将每一个周期看作一个节点，综合考虑节点影响工艺过程稳定性的特征值，计算节点置信度；其次，通过对近似周期工艺过程节点的稳定性置信度，利用无监督学系对近似周期工艺过程稳定性划分等级；最后，建立近似周期工艺过程质量稳定性评估网络模型，输入工艺过程节点以及对应节点稳定性等级，训练稳定性评价网络，预测工艺过程质量稳定性。