[发明专利]一种EEP溶剂及其除杂工艺和除杂系统有效
申请号: | 202011450344.4 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN112661642B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 杨长青;杨晓红 | 申请(专利权)人: | 北京化学试剂研究所有限责任公司 |
主分类号: | C07C67/56 | 分类号: | C07C67/56;C07C67/48;C07C67/60;C07C67/54;C07C69/708 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 赵万凯 |
地址: | 102600 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及电子化学品的技术领域,更具体地说,它涉及一种EEP溶剂及其除杂工艺和除杂系统。其除杂工艺包括依次进行的以下步骤:抽取工业级EEP溶剂依次进行分子筛吸附、纳滤、离子交换以及反应精馏步骤,得到成品EEP溶剂;EEP溶剂除杂工艺的除杂系统,包括依次设置的原料罐、分子筛吸附柱、纳滤装置、离子树脂交换柱、精馏塔以及成品罐。本发明的除杂方法得到的EEP溶剂可用于微电子生产,其中的杂质水平显著降低。 | ||
搜索关键词: | 一种 eep 溶剂 及其 杂工 系统 | ||
【主权项】:
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