[发明专利]工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法有效
| 申请号： | 202011449517.0 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112653408B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 涂程;陈剑南;李飞龙;张晓升 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/17;H03H9/19 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 李朝虎 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法，涉及射频微机电系统技术领域，解决温度漂移对谐振器工作频率产生负面影响的问题。本发明包括双端固支梁(9)直接与SOI基底(1)连接，通过连接梁(10)与带电掺杂硅悬浮平台(11)连接，双端固支梁(9)的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘(8)和负极性电极盘(7)电气连接。本发明旨在减小谐振器频率对加工工艺误差的敏感度，降低加工成本，本发明实现工作频率可实时调整的谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 工作 频率 实时 微调 tpos 谐振器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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