[发明专利]显影浓度控制系统的脱气装置、方法及显影浓度控制系统在审
| 申请号： | 202011447280.2 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112604324A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 韦智强 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;B01D19/02;F04B45/04 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了显影浓度控制系统的脱气装置、方法及显影浓度控制系统，其中，脱气装置包括脱气模块、联动阀门、隔膜真空泵，脱气模块通过管道连接采样泵，接收采样泵传输的显影液样本，脱气模块连接显影液浓度监测模块并将脱气处理后的显影液传输给显影液浓度监测模块；联动阀门设置于连接脱气模块和隔膜真空泵的管道上，当隔膜真空泵停止时联动阀门开启、脱气模块和联动阀门之间的管道失去真空状态，当隔膜真空泵启动时联动阀门关闭。本发明的技术方案可以提高显影浓度监测的准确度并避免隔膜泵再启动时故障。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 浓度 控制系统 脱气 装置 方法 | ||
【主权项】：
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