[发明专利]验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法、验证方法有效
| 申请号： | 202011441298.1 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112697827B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吴诗嫣;刘军 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法，所述方法包括：提供一表面为(100)晶面的硅基底，所述硅基底的所述表面具有目标区域；围绕所述目标区域，对所述硅基底进行切割，得到一包含所述目标区域的样品；对所述样品的所述目标区域进行加工，暴露出待扫描面，得到包含所述待扫描面的标样；其中，所述待扫描面为{112}晶面族中的晶面。 | ||
| 搜索关键词： | 验证 扫描 透射 分辨率 标样 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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