[发明专利]分立式微波激励器和等离子光源装置在审
| 申请号： | 202011438358.4 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112490111A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 何梁;何磊;乔乾;潘虹 | 申请（专利权）人： | 清华四川能源互联网研究院 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 董艳芳 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种分立式微波激励器和等离子光源装置，涉及照明技术领域。等离子光源装置包括分立式微波激励器。分立式微波激励器包括壳体、控制器、信号发生器、功率放大器、隔离保护器和输出端头；壳体具有容置腔，控制器、信号发生器、功率放大器和隔离保护器均位于容置腔内、且连接在壳体的内壁上，控制器、信号发生器、功率放大器和隔离保护器层叠设置，输出端头连接在壳体的外壁上；信号发生器、功率放大器、隔离保护器和输出端头依次采用软线连接，控制器与信号发生器、功率放大器、隔离保护器均采用软线连接。分立式微波激励器和等离子光源装置能够通过合理布局各个模块，减小整体的长宽比，实现更高程度的集成。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 微波 激励 等离子 光源 装置 | ||
【主权项】：
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