[发明专利]分立式微波激励器和等离子光源装置

权利要求书

1.一种分立式微波激励器，其特征在于，所述分立式微波激励器包括壳体(110)、控制器(120)、信号发生器(130)、功率放大器(140)、隔离保护器(150)和输出端头(160)；

所述壳体(110)具有容置腔，所述控制器(120)、所述信号发生器(130)、所述功率放大器(140)和所述隔离保护器(150)均位于所述容置腔内、且连接在所述壳体(110)的内壁上，所述控制器(120)、所述信号发生器(130)、所述功率放大器(140)和所述隔离保护器(150)层叠设置，所述输出端头(160)连接在所述壳体(110)的外壁上；

所述信号发生器(130)、所述功率放大器(140)、所述隔离保护器(150)和所述输出端头(160)依次采用软线连接，所述控制器(120)与所述信号发生器(130)、所述功率放大器(140)、所述隔离保护器(150)均采用软线连接。

2.根据权利要求1所述的分立式微波激励器，其特征在于，所述壳体(110)为长方体结构，所述壳体(110)的长宽比的范围为：1.5～1。

3.根据权利要求1所述的分立式微波激励器，其特征在于，所述壳体(110)包括底盖(112)和顶盖(111)，所述顶盖(111)与所述底盖(112)相互盖合、并形成所述容置腔。

4.根据权利要求3所述的分立式微波激励器，其特征在于，所述顶盖(111)包括顶壁(1111)和第一侧壁(1114)，所述第一侧壁(1114)连接在所述顶壁(1111)的边缘，所述顶壁(1111)上靠近所述底盖(112)的表面为第一安装面(1112)，所述隔离保护器(150)安装在所述第一安装面(1112)上。

5.根据权利要求4所述的分立式微波激励器，其特征在于，所述顶壁(1111)上远离所述底盖(112)的表面为第二安装面(1113)，所述输出端头(160)安装在所述第二安装面(1113)上。

6.根据权利要求4所述的分立式微波激励器，其特征在于，所述底盖(112)包括底壁(1121)和第二侧壁(1123)，所述第二侧壁(1123)的一端连接在所述底壁(1121)的边缘，所述第二侧壁(1123)的另一端连接在所述第一侧壁(1114)，所述底壁(1121)上靠近所述顶盖(111)的表面为第三安装面(1122)，所述控制器(120)、所述信号发生器(130)和所述功率放大器(140)均安装在所述第三安装面(1122)上。

7.根据权利要求6所述的分立式微波激励器，其特征在于，所述底壁(1121)为矩形，所述信号发生器(130)和所述控制器(120)分别安装在所述底壁(1121)上相邻的两个角位置，所述功率放大器(140)占用所述底壁(1121)上另外两个角位置。

8.一种等离子光源装置，其特征在于，所述等离子光源装置包括权利要求1-7任一项所述的分立式微波激励器。

9.根据权利要求8所述的等离子光源装置，其特征在于，所述等离子光源装置还包括聚焦器(210)、等离子灯珠(220)和光学反射器(230)，所述聚焦器(210)安装在所述输出端头(160)，所述等离子灯珠(220)安装在所述聚焦器(210)上，所述光学反射器(230)安装在所述聚焦器(210)上、且围绕所述等离子灯珠(220)。

10.根据权利要求9所述的等离子光源装置，其特征在于，所述输出端头(160)上具有外螺纹，所述聚焦器(210)上具有内螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹相互配合。