[发明专利]一种双层的温度不敏感且制备不敏感的MZI滤波器有效
| 申请号： | 202011431706.5 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112558227B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 宁楠楠;王肖飞;余辉;杨建义;王曰海 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双层的温度不敏感且制备不敏感的MZI滤波器，该滤波器包括第一干涉臂、第二干涉臂、第三干涉臂、第四干涉臂、过渡结构、taper结构、公共路径和耦合器部分；四个干涉臂和taper结构基于温度不敏感的弱限制性波导(Δ25％)；第一二干涉臂的材料和几何尺寸完全一致；第三四干涉臂的材料和几何尺寸完全一致；所述公共路径和耦合器部分是基于强限制性波导(Δ﹥25％)；过渡结构用于降低弱限制性波导和强限制性波导之间的过渡损耗；taper结构用于降低两种波导宽度之间的过渡损耗。本发明通过调节波导的长度与宽度来调节与宽度相关的有效折射率来消除MZI波导宽度变化对于有效折射率的影响，同时保持所需的光学相位差，从而实现制备不敏感的MZI滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 温度 敏感 制备 mzi 滤波器 | ||
【主权项】：
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