[发明专利]一种测量系统和测量方法在审
| 申请号： | 202011431183.4 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114608456A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;白园园;马砚忠;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘猛 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测量系统和测量方法，包括：光发射模块，用于产生泵浦光和探测光，泵浦光沿第一光路入射到待测物表面形成第一光斑，并使待测物中形成声波，探测光沿第二光路入射到待测物表面形成第二光斑，探测光被待测物反射后形成信号光；光调制模块，用于使第一光斑和第二光斑中尺寸较小者在尺寸较大者的光斑区域内扫描；光探测模块，用于探测尺寸较大者的光斑区域内多个点处的信号光，根据信号光获得多个点的初始待测信息，根据多个初始待测信息得到尺寸较大者的光斑区域内的待测信息。由于尺寸较大者的光斑区域内的待测信息可以为多个点处初始待测信息的平均值、中位数等，因此，可以减小待测物表面粗糙引起的检测误差，提高测量的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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