[发明专利]一种真空镀膜加工清洗设备在审
| 申请号： | 202011427991.3 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112691968A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 戴丽娜 | 申请（专利权）人： | 苏州科亿嘉新技术开发有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/02;B08B3/12;B08B13/00;B29C63/02;F26B5/16;F26B25/00;F26B23/00;C23C14/02;C23C16/02;C25F1/04 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 季栋林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜加工清洗设备，涉及基片镀膜加工设备技术领域，为解决现有的如何在保证清洗效率的前提下提高基片清洗效果的问题。所述外壳内部的上端固定设置有导轨，所述安装头的下端安装有夹持装置，所述夹持装置的下端设置有基片，所述外壳内部的一侧设置有冲洗腔，所述冲洗腔的一侧设置有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔的下端设置有第一清洗槽，所述换能器的下方安装有超声发生器，所述超声波清洗腔的一侧设置有等离子清洗腔，所述等离子清洗腔的下方设置有第二清洗槽，所述第二清洗槽内部的两侧均安装有石墨阴极，所述等离子清洗腔的一侧设置有烘干腔，所述烘干腔的一侧设置有防尘处理腔，所述放卷辊的外部设置有防尘膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 加工 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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