[发明专利]一种溅射旋转靶材矫直装置在审
| 申请号： | 202011427975.4 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112692111A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 戴丽娜 | 申请（专利权）人： | 苏州科亿嘉新技术开发有限公司 |
| 主分类号： | B21D3/05 | 分类号： | B21D3/05;B21D43/08 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 季栋林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射旋转靶材矫直装置，涉及旋转靶材加工技术领域，为解决现有溅射旋转靶材矫直装置一次只能对一件靶材进行矫直，效率较低的问题。所述底座的上表面的四周均安装有防护壳体，所述防护壳体的前端设置有进料口，且进料口设置有三个，所述防护壳体的后端设置有出料口，且出料口设置有三个，所述防护壳体的内部设置有下输送辊，下输送辊设置有九个，且三个一组阵列分布在底座的上表面，相邻所述下输送辊之间通过第一联动杆传动连接，所述下输送辊的两侧均设置有导向辊，且导向辊设置有八个，所述防护壳体的上端安装有液压缸，且液压缸设置有六个。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 旋转 矫直 装置 | ||
【主权项】：
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