[发明专利]一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法在审
| 申请号： | 202011410460.3 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112676374A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 芮天安;赵永武;丁春聪;周雄杰;赵瑞晋;马俊 | 申请（专利权）人： | 安徽宝泰特种材料有限公司 |
| 主分类号： | B21C37/06 | 分类号： | B21C37/06 |
| 代理公司： | 合肥市道尔知识产权代理有限公司 34169 | 代理人： | 董艳玲 |
| 地址： | 242000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法，包括以下步骤：选用海绵钛原料，经过烘烤，用油压机将海绵钛原料压制成电极块，在真空焊箱内组焊电极；采用真空自耗电弧炉对海绵钛原料熔炼两次制备铸锭；将制得的铸锭经二火次镦拔锻造得到钛圆棒；对钛圆棒进行机械加工获得光滑匀称的棒材；将制得的棒材用二辊斜轧穿孔制成管坯；去除管坯内外表面氧化皮及钛表面污染层；对制得的管坯进行多道次拉伸扩径；采用五辊冷轧机对处理后的管坯进行多次冷轧轧制；将成品管材进行真空退火处理；对制得的成品管材去毛刺、切头尾、定尺；将制得管材进行内、外表面粗抛光处理后再分别进行精抛光处理。本发明可以生产出高精度的纯钛靶材备管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 薄膜 纯钛靶材备管 制备 方法 | ||
【主权项】：
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