[发明专利]一种中空型超高频谐振器在审
| 申请号： | 202011409732.8 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112564666A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;谷曦宇;国世上;刘婕妤;谢英;曲远航;邹杨;徐沁文 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及谐振器技术领域，具体涉及一种中空型超高频谐振器，包括衬底、压电层和电极，压电层置于衬底之上；压电层的上表面部分或全部刻蚀形成环形压电层，第一、第二电极沉积在压电层上。该超高频谐振器的压电层上部或全部被刻蚀去一部分，成为环形压电层，使得在压电层中的应力得到释放，也使得电极的相对金属率得到提高，使压电层的压电性能得到更好的表现，使得压电层产生更强的耦合效应，从而使得谐振器的机电耦合系数增加，并能去除阻抗曲线中部分杂波。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中空 超高频 谐振器 | ||
【主权项】：
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