[发明专利]适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具在审
| 申请号： | 202011403027.7 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112609166A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 朱蓓蓓;孟光;秦琳;墨洪磊;兰洁;袁航;陆波;陈勰;杨英杰;程辉 | 申请（专利权）人： | 上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，包括：顶针、卡头、弹性件和拉杆，谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触，卡头座与卡头连接，谐振子中心轴的另一端固定在顶针上；弹性件套设于拉杆上；顶针和拉杆形成拉杆顶针，拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中，可使夹持夹具与谐振子接触面积小，对谐振子任何表面无遮挡，所有表面能够一次成膜，无需翻面镀制；夹具对谐振子有效夹持，可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤，能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 半球 谐振子 一次 成膜无 遮挡 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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