[发明专利]一种平面大位移压电微振动台在审
| 申请号： | 202011398942.1 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112577684A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 秦风 | 申请（专利权）人： | 成都度控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面大位移压电微振动台，通过采用多段折叠、弯曲支撑梁结构，解决了传统直梁或两段支撑梁振动台平面内位移小的问题，且微振动台在平面内位移可以达到百微米量级，同时还能够实现面内旋转位移。每根支撑梁经过多次折叠、弯曲，形成类似弹簧结构的支撑梁，有效降低支撑梁在平面内的刚度，使微振动台平面内行程提升至数百微米量级。本发明由多根多段折叠式振动支撑梁配合形成，且基本的支撑梁结构可具有多种形式，例如可以包含180°折叠型结构和90°拐角型结构。其中，180°折叠型结构可以用于减小微振动台刚度，从而提高平面内位移；而90°拐角型结构可以用于调整位移方向，约束非轴向位移，从而提高微振动台工作时的线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 位移 压电 振动 | ||
【主权项】：
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