[发明专利]一种平面大位移压电微振动台在审
| 申请号： | 202011398942.1 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112577684A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 秦风 | 申请（专利权）人： | 成都度控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 位移 压电 振动 | ||
1.一种平面大位移压电微振动台，其特征在于，包括有：多根支撑梁；
单根支撑梁经过折叠、弯曲后形成单根具有弹性的多段折叠式振动支撑梁，且多根所述多段折叠式振动支撑梁相互配合连接，形成微振动台；
其中，所述多段折叠式振动支撑梁包括有折叠型结构和拐角型结构。
2.根据权利要求1所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，每根多段折叠式振动支撑梁中的一段支撑梁包括一个或多个激励区域，且每个激励区域可以单独供电。
3.根据权利要求2所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，还包括分别对每个激励区域提供不同形式的直流电，驱动所述微振动台沿目标方向进行恒定位移或旋转位移。
4.根据权利要求2所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，还包括分别对每个激励区域提供不同形式的交流电，驱动所述微振动台沿目标方向进行简谐振动或转动。
5.根据权利要求3或4所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，所述微振动台的位移与激励区域的供电电压呈线性变化。
6.根据权利要求1所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，所述多段折叠式振动支撑梁包括有180°的折叠型结构。
7.根据权利要求1所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，所述多段折叠式振动支撑梁包括有90°的拐角型结构。
8.根据权利要求1所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，所述微振动台由四根多段折叠式振动支撑梁相互配合连接形成。
9.根据权利要求2所述的平面大位移压电微振动台，其特征在于，每根多段折叠式振动支撑梁中的一段支撑梁包括四个激励区域，且每个激励区域可以单独供电。
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