[发明专利]一种新型的可用于自校准技术的微型压电振动台结构

摘要

本发明公开一种新型的可用于自校准技术的微型压电振动台结构，包括四个大宽度非中间折叠的折叠梁以及一个中心平台；中心平台的四个侧边分别与一个大宽度非中间折叠的折叠梁的一端连接；大宽度非中间折叠的折叠梁依次由连接梁、长梁、短梁构成；沿着逆时针方向，每一个大宽度非中间折叠的折叠梁将下一个大宽度非中间折叠的折叠梁部分包围；大宽度非中间折叠的折叠梁连接梁的一端与中心平台侧边连接，交接点为中心平台侧边非中心点位置。由四个大宽度非中间折叠的折叠梁支撑中心平台的微型压电振动台结构获得较大弹性系数和自由度，也兼顾刚性，并且由于梁的宽度较大可以加大PZT的作用面积，减小PZT层上下电极制作的难度。