[发明专利]一种移相器及其制造方法、半导体器件、光通信系统在审

专利信息
申请号: 202011373403.2 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN114583420A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 姚湛史;殷祥;宋小鹿;孙梦蝶 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H01P1/18 分类号: H01P1/18;H01P11/00;H01S5/00
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 常忠良
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请公开了一种移相器及其制造方法、半导体器件、光通信系统,移相器可以包括衬底、第一介质层、第一波导、电光晶体膜层、第二波导、金属电极,其中第一介质层设置于衬底上,第一介质层中设置有第一波导,第一波导的折射率大于第一介质层的折射率,电光晶体膜层设置于第一介质层之上,第二波导可以设置在电光晶体膜层之上,且与第一波导在纵向上正对设置,金属电极可以设置在第二波导两侧,这样第一波导和第二波导在纵向上正对,因此在横向上共同进行了光场的限制,提高了对光场的限制能力,提高了电场和光场的重合效率,提高电光调制效率。同时,电光晶体膜层作为平板结构而无需经过刻蚀,因此可以简化制造工艺,降低制造成本。
搜索关键词: 一种 移相器 及其 制造 方法 半导体器件 光通信 系统
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司,未经华为技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011373403.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top