[发明专利]一种基于欧拉微环谐振腔的高分辨率光谱仪

摘要

本发明公开了一种基于欧拉微环谐振腔的片上高分辨率光谱仪。包含三个输入/输出端口、欧拉环超精密滤波器、级联环粗滤波器、多段连接波导以及探测器阵列。滤波过程主要分为超精密滤波和粗滤波，对于超精密滤波，基于多模硅光宽波导，我们设计了具有超高品质因子的欧拉微环谐振腔，包括两段宽波导和基于修正欧拉曲线的弯曲宽波导，并且欧拉环超精密滤波器的输入/输出耦合区以及输出/输入耦合区能有效抑制高阶模的激发。对于粗滤波，采用了跑道型的级联微环结构，构造出更高的平顶滤波器。本发明采用超精密滤波结合和粗滤波的方式，只需一次扫描即可得到完整数据，简化的同时却提高了可靠性，可即插即用，具有尺寸小、结构紧凑、分辨率高等优点。