[发明专利]电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法有效
| 申请号： | 202011344390.6 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112629571B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 黄腾超;王先帆;车双良;舒晓武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G01B11/26;G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法，属于精密测量领域。该装置包括一个单频He‑Ne激光器、一个电光相位调制器、三个光电探测器、两个测量角锥反射镜以及若干光学元件，单频He‑Ne激光器用于产生及发射线偏振光，电光相位调制器给参考激光信号相位调制，一个光电探测器探测参考激光干涉信号，另外两个光电探测器分别探测由两个测量角锥反射镜得到的两个测量干涉信号，若干光学元件用于控制激光传输方向和偏振态，通过解调技术得到参考干涉信号和测量干涉信号的相位，继而分别得到两个测量干涉信号与参考干涉信号的相位差，即可得到对应的线位移和角位移。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 调制 激光 干涉 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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