[发明专利]一种氧化铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202011324764.8 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112390628B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘文杰;钟小华;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氧化铝靶材的制备方法，属于靶材领域。本发明将靶材原料经混合球磨、喷雾干燥、压制成素坯、冷等静压压制、升温脱脂烧结以及升温有氧烧结后，先进行降温有氧烧结，再进行升温烧结，这样得到的氧化铝靶材密度更大，且无需进行真空烧结，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材，所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 制备 方法 | ||
【主权项】：
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