[发明专利]一种新型洁净舱及其使用方法在审
| 申请号： | 202011318960.4 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112459551A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李雪锋;张林;鲜玉强;崔鼎;张伟;陈永亮;严从林;荆建瑛;叶长春;陈涛;李才阳;周山;张浩 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | E04H5/00 | 分类号： | E04H5/00 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 于晶晶 |
| 地址： | 621900 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型洁净舱及其使用方法，属于光学洁净密封舱技术领域，包括由舱盖、舱体和舱座围成的内腔，所述舱盖上设有进气口，且舱盖上设有与进气口连通并朝向内腔的进气孔，所述舱座上设有用于承载光学元件的光机台，且光机台上设有透气孔，所述光机台与舱座之间设有汇流槽排，且汇流槽排上设有出气口以及与内腔连通的通孔，本发明在考虑气流均匀性和污染物自重的前提下，采用由上至下的吹气方式，达到气流束对内腔空间全覆盖，进而避免局部空间未被吹到以及污染物再次被吹起来的可能性，有效减少污染物，提高洁净舱内部的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 洁净 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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