[发明专利]一种石英半球谐振子纳米制造方法有效
| 申请号： | 202011316710.7 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112461265B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;刘冬冬;谢文祥;冯坚强 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;B82Y40/00;B24B1/00;B24B35/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于超精密加工领域，公开了一种石英半球谐振子纳米制造方法，实现了石英半球陀螺谐振子从宏观制造到纳米制造一体化的方法，首先采用轨迹法对工件进行磨削和超精密磨削。其次利用激光干涉成像，采用自主研发的化学机械抛光液对不符合表面精度和形位精度的区域进行限域化学机械抛光，最后使用离子束对工件和不满足加工要求的区域进行修型。最终达到表面粗糙度，圆度，圆柱度均小于100nm。本发明为半球陀螺的加工提供的新的方法和新思路，达到了加工要求，满足了军工国防，航空航天和一些民用设备的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 半球 谐振子 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
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